鐘罩爐所提供的燒結(jié)窯爐的主要特性是高效率，其智能控制系統(tǒng)和其他設(shè)備構(gòu)成了一個(gè)完整的功能單元，可充分滿足鐵氧體行業(yè)近乎藝術(shù)級(jí)的要求?？梢愿鶕?jù)需要編寫和儲(chǔ)存任何的溫度/氣氛曲線，來(lái)生產(chǎn)高質(zhì)量的產(chǎn)品。除此以外還可以根據(jù)實(shí)際需要及時(shí)生產(chǎn)任何其他產(chǎn)品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結(jié)時(shí)僅僅需要少數(shù)操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結(jié)可以在夜間完成，實(shí)現(xiàn)電力調(diào)峰，在當(dāng)今電力緊張情況下，十分實(shí)用。

　　目前設(shè)備可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料，離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩爐主要由真空腔室、加熱室、進(jìn)氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成的，下面咱們來(lái)了解下各組成部分的作用：

　　1.真空腔室：真空腔室是其工作空間，晶圓在這里進(jìn)行快速熱處理。

　　2.加熱室：加熱室以多個(gè)紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。

　　3.進(jìn)氣系統(tǒng)：真空腔室尾部有進(jìn)氣孔，控制的進(jìn)氣量用來(lái)滿足一些特殊工藝的氣體需求。

　　4.真空系統(tǒng)：在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥，可以有效確保腔室真空度，同時(shí)避免氣體倒灌污染腔室內(nèi)的被處理工件。

　　5.溫度控制系統(tǒng)：溫度控制系統(tǒng)由溫度傳感器、溫度控制器、電力調(diào)整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。

　　6.氣冷系統(tǒng)：真空腔室的冷卻是通過(guò)進(jìn)氣系統(tǒng)向腔室內(nèi)充入惰性氣體，來(lái)加速冷卻被熱處理的工件，滿足工藝使用要求。

　　7.水冷系統(tǒng)：主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。